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| 안진호 한양대 교수가 발표 중이다.(사진=전화평 기자) |
“반도체가 더 작아질 것이냐에 회의적인 의견을 내시는 분들이 많습니다만, 제 생각에는 10년 정도는 더 미세화하는 게 가능할 것으로 봅니다. EUV(극자외선) 노광장비가 이를 가능하게 했지 않습니까.”
안진호 한양대학교 신소재공학부 교수는 18일 소부장뿌리기술대전 기술 포럼을 통해 “1980년대 말에도 반도체를 더 이상 작게 만드는 건 끝났다”고 했던 과거 오류를 들어 이 같은 내다봤다. EUV 기술이 반도체 미세화를 가능하게 했고, 앞으로도 그럴 것이란 시각이다. 안 교수는 “더 작게 만드는 게 어려워 진 건 사실”이라면서도 “EUV 시대는 이제 막 시작했다”고 주장했다.
이 같은 주장은 “무어의 법칙에 한계가 왔다”는 업계의 통설과 대비되는 내용이어서 향후 귀추가 주목된다. 무어의 법칙(Moore‘s Law)은 대략 2년마다 최소한의 비용 증가로 반도체 집적회로에 집적할 수 있는 트랜지스터 숫자가 두 배씩 증가한다는 가설로 인텔 공동 창립자인 고든 무어가 1965년 발표한 논문에서 향후 10년 간 매년 트랜지스터가 두 배로 증가할 것이라고 예측한 바 있다.
EUV가 활용되는 노광공정은 빛을 이용해 마스크의 회로설계를 웨이퍼로 복사하는 기술이다. 전체 공정 비용과 공정 시간의 절반 이상을 차지하는 주요 공정이다.
안 교수는 “EUV는 본래 지구상에 있을 수 없는 파장”이라며 “EUV 파장은 모든 물질에 흡수가 돼 소멸된다”고 설명했다.
그러면서 “앞으로 노광공정의 비용효율 개선을 위해 NILS(이미지의 기울기, 폭을 이용해 정규화한 값)를 개선할 수 있는 레지스트와 마스크의 개발이 중요”하다고 짚었다.
전화평 기자 peace201@viva100.com 기자의 다른기사보기 >
